Способ получения поликристаллического кремния

Способ получения поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович
Summary:	опубл. 10.06.09 Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния.
Language:	Russian
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний химическая технология хлорсиланы кремниевые стержни химическая промышленность электронная промышленность
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646383

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf