Способ получения поликристаллического кремния

Xehetasun bibliografikoak
Erakunde egilea: Горно-химический комбинат (ГХК)
Beste egile batzuk: Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович
Gaia:опубл. 10.06.09
Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния.
Hizkuntza:errusiera
Argitaratua:
Gaiak:
Sarrera elektronikoa:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf
Formatua: Baliabide elektronikoa Liburua
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646383

MARC

LEADER 00000nlm0a2200000 4500
001 646383
005 20231214154937.0
029 1 0 |a RU  |b 2357923  |c Пат.  |d МПК C 01 B 33/03  |d МПК C 01 B 33/035 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\11519 
035 |a RU\TPU\network\11517 
039 0 |a RU  |b 2007125995/15  |c 20070709 
090 |a 646383 
100 |a 20160226j20090610k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a k 000zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Способ получения поликристаллического кремния  |f П. М. Гаврилов [и др.]  |g Горно-химический комбинат (ГХК) 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a опубл. 10.06.09 
330 |a Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния. 
610 1 |a патенты 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a изобретения 
610 1 |a поликристаллический кремний 
610 1 |a химическая технология 
610 1 |a хлорсиланы 
610 1 |a кремниевые стержни 
610 1 |a химическая промышленность 
610 1 |a электронная промышленность 
701 1 |a Гаврилов  |b П. М.  |c специалист в области атомной энергетики  |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук  |f 1960-  |g Петр Михайлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697  |9 12771 
701 1 |a Ревенко  |b Ю. А.  |g Юрий Александрович 
701 1 |a Бараков  |b Б. А.  |g Борис Николаевич 
701 1 |a Муравицкий  |b С. А.  |g Степан Александрович 
701 1 |a Громов  |b Г. Н.  |g Геннадий Николаевич 
701 1 |a Болгов  |b М. В.  |g Михаил Викторович 
701 1 |a Левинский  |b А. И.  |g Александр Иванович 
701 1 |a Гущин  |b В. В.  |g Владимир Васильевич 
701 1 |a Прочанкин  |b А. П.  |g Александр Петрович 
712 0 2 |a Горно-химический комбинат (ГХК)  |c (Железногорск)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\16911 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120201 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20160229  |g RCR 
856 4 |u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf 
942 |c CF