Способ получения поликристаллического кремния

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo: Горно-химический комбинат (ГХК)
Outros Autores: Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Бараков Б. А. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович
Resumo:опубл. 10.06.09
Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния.
Idioma:russo
Publicado em:
Assuntos:
Acesso em linha:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf
Formato: Recurso Eletrônico Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646383
Descrição
Resumo:опубл. 10.06.09
Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния.