Способ получения поликристаллического кремния
| Autor Corporativo: | |
|---|---|
| Outros Autores: | , , , , , , , , |
| Resumo: | опубл. 10.06.09 Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния. |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.06.10/DOC/RUNWC2/000/000/002/357/923/document.pdf |
| Formato: | Recurso Eletrônico Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646383 |
| Resumo: | опубл. 10.06.09 Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов посредством их восстановления водородом на разогретых кремниевых стержнях, и может быть использовано в технологии получения поликристаллического кремния. |
|---|