Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Altres autors:	Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Sumari:	опубл. 27.03.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.
Idioma:	rus
Publicat:
Matèries:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения трихлорсилан гидрирование тетрахлорид кремния химическая промышленность водородное восстановление кремний
Accés en línia:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf
Format:	Electrònic Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646378

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf