Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Summary:	опубл. 27.03.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения трихлорсилан гидрирование тетрахлорид кремния химическая промышленность водородное восстановление кремний
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646378

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf