Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Podrobná bibliografie
Korporativní autor: Горно-химический комбинат (ГХК)
Další autoři: Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Shrnutí:опубл. 27.03.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.
Vydáno:
Témata:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
трихлорсилан
гидрирование
тетрахлорид кремния
химическая промышленность
водородное восстановление
кремний
On-line přístup:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf
Médium: Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646378
Popis
Shrnutí:опубл. 27.03.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.

Podobné jednotky