Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

書誌詳細
団体著者: Горно-химический комбинат (ГХК)
その他の著者: Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
要約:опубл. 27.03.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.
言語:ロシア語
出版事項:
主題:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
трихлорсилан
гидрирование
тетрахлорид кремния
химическая промышленность
водородное восстановление
кремний
オンライン･アクセス:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf
フォーマット: 電子媒体 図書
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646378
その他の書誌記述
要約:опубл. 27.03.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.

類似資料