Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления

Bibliografiset tiedot
Yhteisötekijä: Горно-химический комбинат (ГХК)
Muut tekijät: Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Yhteenveto:опубл. 27.03.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.
Kieli:venäjä
Julkaistu:
Aiheet:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
трихлорсилан
гидрирование
тетрахлорид кремния
химическая промышленность
водородное восстановление
кремний
Linkit:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.03.27/DOC/RUNWC2/000/000/002/350/558/document.pdf
Aineistotyyppi: Elektroninen Kirja
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646378
Kuvaus
Yhteenveto:опубл. 27.03.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния из трихлорсилана восстановлением его водородом, конкретно к способу и устройству получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния, образующегося при проведении процесса водородного восстановления кремния.

Samankaltaisia teoksia