Горно-химический комбинат (ГХК), Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. С. А., Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, . . . Петрусевич Ф. В. Федор Викторович. Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления.
Chicago Style (17th ed.) CitationГорно-химический комбинат (ГХК), Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, А. Степан Александрович Муравицкий С, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, and Петрусевич Ф. В. Федор Викторович. Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления.
MLA (9th ed.) CitationГорно-химический комбинат (ГХК), et al. Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления.