Горно-химический комбинат (ГХК), Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. С. А., Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, . . . Петрусевич Ф. В. Федор Викторович. Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления.
Lua i Stíl Chicago (17ú heag.)Горно-химический комбинат (ГХК), Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, А. Степан Александрович Муравицкий С, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, agus Петрусевич Ф. В. Федор Викторович. Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления.
Lua MLA (9ú heag.)Горно-химический комбинат (ГХК), et al. Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления.