Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Истомин М. Г. Михаил Геннадьевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Саргун А. В. Александр Васильевич, Шерстов К. Д. Константин Дмитриевич
Summary:	опубл. 10.02.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству кремния в реакторах водородного восстановления полихлорсиланов, и может быть использовано для регулируемого нагревания стержней поликристаллического кремния в реакторе.
Language:	Russian
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения нагревание кремниевые стержни химическая промышленность кремний реакторы водородное восстановление полихлорсиланы поликристаллический кремний
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.02.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/346/416/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646375

Similar Items

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Установка для получения поликристаллического кремния
Published: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (Томск, 2010)

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Published: ()

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (Томск, 2010)

Реактор водородного восстановления кремния
Published: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Published: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Published: (2009)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Published: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Published: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Published: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Published: ()

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 321, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
Published: (2012)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2009)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
by: Акципетров О. А.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Published: (2009)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
by: Андреев А. А. Артем Андреевич
Published: (2007)

Связь параметров и структурного совершенства кремниевых pin-фотоприемников; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 12
by: Кулинич О. А.
Published: (2004)

Самоформирование: теория и применение: тезисы III республиканского семинара, Вильнюс, 26-27 мая 1987 г.
Published: (Вильнюс, Изд-во ИФП, 1987)

Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах
by: Гриценко В. А. Владимир Алексеевич
Published: (Новосибирск, Наука, 1993)

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2013)

Взаимодействие молекул диоксида азота с поверхностью кремниевых нанокристаллов в слоях пористого кремния; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 4
Published: (2004)

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Published: (2014)

Кн. 1; Технология СБИС
Published: (1986)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
by: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Published: ()

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Published: (2020)

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
by: Лапатин Л. Г.
Published: (2009)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
by: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Published: (2012)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2011)

Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве
by: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Published: (Минск, Наука и техника, 1992)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Published: (2009)

Электролизер
Published: ()

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
by: Цивинская Ю. С.
Published: (2012)

Разработка источника питания резистивного нагрева поликристаллических кремниевых стержней током высокой частоты; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Лидовский Р. К.
Published: (2011)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Published: (2010)