Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Истомин М. Г. Михаил Геннадьевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Саргун А. В. Александр Васильевич, Шерстов К. Д. Константин Дмитриевич
Summary:	опубл. 10.02.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству кремния в реакторах водородного восстановления полихлорсиланов, и может быть использовано для регулируемого нагревания стержней поликристаллического кремния в реакторе.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения нагревание кремниевые стержни химическая промышленность кремний реакторы водородное восстановление полихлорсиланы поликристаллический кремний
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.02.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/346/416/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646375

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.02.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/346/416/document.pdf