Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней

Бібліографічні деталі
Співавтор:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Інші автори:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Истомин М. Г. Михаил Геннадьевич, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Саргун А. В. Александр Васильевич, Шерстов К. Д. Константин Дмитриевич
Резюме:	опубл. 10.02.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству кремния в реакторах водородного восстановления полихлорсиланов, и может быть использовано для регулируемого нагревания стержней поликристаллического кремния в реакторе.
Опубліковано:
Предмети:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения нагревание кремниевые стержни химическая промышленность кремний реакторы водородное восстановление полихлорсиланы поликристаллический кремний
Онлайн доступ:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.02.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/346/416/document.pdf
Формат:	Електронний ресурс Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646375

Інтернет

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.02.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/346/416/document.pdf