Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
| निगमित लेखक: | |
|---|---|
| अन्य लेखक: | , , , , , , , |
| सारांश: | опубл. 27.01.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния. |
| भाषा: | रूसी |
| प्रकाशित: |
|
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.01.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/344/993/document.pdf |
| स्वरूप: | इलेक्ट्रोनिक पुस्तक |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646374 |
समान संसाधन
Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Реактор водородного восстановления кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
प्रकाशित: (2009)
प्रकाशित: (2009)
Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
द्वारा: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
प्रकाशित: (Томск, 2014)
द्वारा: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
प्रकाशित: (Томск, 2014)
Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
द्वारा: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
प्रकाशित: (Томск, 2014)
द्वारा: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
प्रकाशित: (Томск, 2014)
Процессы получения кремния с низким содержанием примесей с использованием магниетермического восстановления диоксида кремния в аппаратах стесненного падения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
द्वारा: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
प्रकाशित: (Томск, 2014)
द्वारा: Киселёв А. Д. Александр Дмитриевич
प्रकाशित: (Томск, 2014)
Формирование микродефектной структуры полупроводникового кремния; Наукоемкие технологии; № 6
द्वारा: Таланин В. И.
प्रकाशित: (2004)
द्वारा: Таланин В. И.
प्रकाशित: (2004)
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
द्वारा: Козин К. А. Кирилл Андреевич
प्रकाशित: (Томск, 2010)
द्वारा: Козин К. А. Кирилл Андреевич
प्रकाशित: (Томск, 2010)
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
द्वारा: Козин К. А. Кирилл Андреевич
प्रकाशित: (Томск, 2010)
द्वारा: Козин К. А. Кирилл Андреевич
प्रकाशित: (Томск, 2010)
Установка для получения поликристаллического кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Нейтронно-активационное определение примесных элементов в полупроводниковом кремнии; Изотопы: технологии, материалы и применение
द्वारा: Кабанов Д. В. Денис Викторович
प्रकाशित: (2016)
द्वारा: Кабанов Д. В. Денис Викторович
प्रकाशित: (2016)
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Козин К. А. Кирилл Андреевич
प्रकाशित: (2010)
द्वारा: Козин К. А. Кирилл Андреевич
प्रकाशित: (2010)
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()
Т. 6: Соединения селена, теллура, кремния и бора; Общая органическая химия
प्रकाशित: (1984)
प्रकाशित: (1984)
Теоретические основы восстановления кремния: учебное пособие
द्वारा: Толстогузов Н. В. Николай Васильевич
प्रकाशित: (Новокузнецк, Изд-во КузПИ, 1990)
द्वारा: Толстогузов Н. В. Николай Васильевич
प्रकाशित: (Новокузнецк, Изд-во КузПИ, 1990)
Неорганические бескислородные соединения кремния: учебное пособие
द्वारा: Торопов Н. А. Никита Александрович
प्रकाशित: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)
द्वारा: Торопов Н. А. Никита Александрович
प्रकाशित: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)
Аморфный кремний и родственные материалы: пер. с англ.
प्रकाशित: (Москва, Мир, 1991)
प्रकाशित: (Москва, Мир, 1991)
Технология полупроводникового кремния
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1992)
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1992)
Производство полупроводникового кремния
द्वारा: Салли И. В. Илья Васильевич
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1970)
द्वारा: Салли И. В. Илья Васильевич
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1970)
Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
द्वारा: Андреев А. А. Артем Андреевич
प्रकाशित: (2007)
द्वारा: Андреев А. А. Артем Андреевич
प्रकाशित: (2007)
Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния; Изотопы: технологии, материалы и применение
द्वारा: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
प्रकाशित: (2016)
द्वारा: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
प्रकाशित: (2016)
Нитрид кремния и материалы на его основе
द्वारा: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1984)
द्वारा: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
प्रकाशित: (Москва, Металлургия, 1984)
Фтороаммонийный способ получения солнечного кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
द्वारा: Андреев А. А. Артем Андреевич
प्रकाशित: (2008)
द्वारा: Андреев А. А. Артем Андреевич
प्रकाशित: (2008)
Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 10
द्वारा: Кулинич О. А.
प्रकाशित: (2003)
द्वारा: Кулинич О. А.
प्रकाशित: (2003)
Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
द्वारा: Акципетров О. А.
प्रकाशित: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)
द्वारा: Акципетров О. А.
प्रकाशित: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)
Производство алюминиевых полуфабрикатов и кремния: сборник научных трудов
प्रकाशित: (СПб., [Б. и.], 1992)
प्रकाशित: (СПб., [Б. и.], 1992)
Полупроводниковые фосфиды и арсениды кремния и германия
द्वारा: Гончаров Е. Г. Евгений Григорьевич
प्रकाशित: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1989)
द्वारा: Гончаров Е. Г. Евгений Григорьевич
प्रकाशित: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 1989)
Электронная спектроскопия и атомные процессы на поверхности кремния
द्वारा: Лифшиц В. Г. Виктор Григорьевич
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1985)
द्वारा: Лифшиц В. Г. Виктор Григорьевич
प्रकाशित: (Москва, Наука, 1985)
Пленочная конденсация парогазовой смеси на вертикальной трубе; Химическая физика и актуальные проблемы энергетики
द्वारा: Мухамбеткалиев Е. Н.
प्रकाशित: (2012)
द्वारा: Мухамбеткалиев Е. Н.
प्रकाशित: (2012)
Биологическая активность соединений кремния: указатель литературы 1976-1982 гг.
द्वारा: Лукевиц Э. Я. Эдмунд Янович
प्रकाशित: (Рига, Ин-т орган. синтеза, 1984)
द्वारा: Лукевиц Э. Я. Эдмунд Янович
प्रकाशित: (Рига, Ин-т орган. синтеза, 1984)
Возможность создания технологии НТЛ кремния в реакторе ИРТ-Т на канале с односторонним доступом; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
प्रकाशित: (2016)
प्रकाशित: (2016)
Высококремнистые ферросплавы. Производство кремния и ферросилиция
द्वारा: Щедровицкий Я. С. Яков Самуилович
प्रकाशित: (Свердловск, Металлургиздат, 1961)
द्वारा: Щедровицкий Я. С. Яков Самуилович
प्रकाशित: (Свердловск, Металлургиздат, 1961)
Диаграммы состояния неметаллических систем. Окислы металлических элементов и кремния
द्वारा: Агеева Д. Л.
प्रकाशित: (Москва, ВИНИТИ, 1966)
द्वारा: Агеева Д. Л.
प्रकाशित: (Москва, ВИНИТИ, 1966)
Способ получения поликристаллического кремния
प्रकाशित: ()
प्रकाशित: ()