Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Summary:	опубл. 27.01.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения полисиланхлориды парогазовые смеси водородное восстановление кремний химическая промышленность полупроводниковый кремний
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.01.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/344/993/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646374

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.01.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/344/993/document.pdf