Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu: Горно-химический комбинат (ГХК)
Altres autors: Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Sumari:опубл. 27.01.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния.
Idioma:rus
Publicat:
Matèries:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
полисиланхлориды
парогазовые смеси
водородное восстановление
кремний
химическая промышленность
полупроводниковый кремний
Accés en línia:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.01.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/344/993/document.pdf
Format: Electrònic Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646374
Descripció
Sumari:опубл. 27.01.09
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния.

Ítems similars