Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления

Մատենագիտական մանրամասներ
Համատեղ հեղինակ:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Այլ հեղինակներ:	Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Болгов М. В. Михаил Викторович, Муравицкий С, А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федор Викторович
Ամփոփում:	опубл. 27.01.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния.
Հրապարակվել է:
Խորագրեր:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения полисиланхлориды парогазовые смеси водородное восстановление кремний химическая промышленность полупроводниковый кремний
Առցանց հասանելիություն:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2009FULL/2009.01.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/344/993/document.pdf
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646374

Նկարագրություն
Ամփոփում:	опубл. 27.01.09 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству полупроводникового кремния, к созданию устройства для вывода полисиланхлоридов, образующихся при проведении процесса водородного восстановления кремния, из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния.

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления

Նմանատիպ նյութեր