Реактор водородного восстановления кремния
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , |
| Summary: | опубл. 20.12.08 Изобретение относится к аппаратам химической технологии, а именно к реакторам водородного восстановления кремния. |
| Published: |
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.12.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/341/456/document.pdf |
| Format: | Electronic Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646371 |