Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo: Горно-химический комбинат (ГХК)
Otros Autores: Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федр Викторович
Sumario:опубл. 20.12.08
Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу, когда наряду с осаждением кремния на разогретых основах при восстановлении из трихлорсилана образуются полисиланхлориды.
Publicado:
Materias:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
очистка
внутренние поверхности
водородное восстановление
кремний
Acceso en línea:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.12.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/341/454/document.pdf
Formato: Electrónico Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646365

Ejemplares similares

Ejemplares similares