Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федр Викторович
Summary:	опубл. 20.12.08 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу, когда наряду с осаждением кремния на разогретых основах при восстановлении из трихлорсилана образуются полисиланхлориды.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения очистка внутренние поверхности водородное восстановление кремний
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.12.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/341/454/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646365

Internet