Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
| সংস্থা লেখক: | |
|---|---|
| অন্যান্য লেখক: | , , , , , , |
| সংক্ষিপ্ত: | опубл. 20.12.08 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу, когда наряду с осаждением кремния на разогретых основах при восстановлении из трихлорсилана образуются полисиланхлориды. |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.12.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/341/454/document.pdf |
| বিন্যাস: | MixedMaterials বৈদ্যুতিক গ্রন্থ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646365 |