Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов

Bibliografiske detaljer
Institution som forfatter:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Andre forfattere:	Громов Г. Н. Геннадий Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович, Левинский А. И. Александр Иванович, Гущин В. В. Владимир Васильевич, Петрусевич Ф. В. Федр Викторович
Summary:	опубл. 20.12.08 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу, когда наряду с осаждением кремния на разогретых основах при восстановлении из трихлорсилана образуются полисиланхлориды.
Udgivet:
Fag:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения очистка внутренние поверхности водородное восстановление кремний
Online adgang:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.12.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/341/454/document.pdf
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646365

Beskrivelse
Summary:	опубл. 20.12.08 Изобретение относится к химической промышленности, а именно к производству поликристаллического кремния по замкнутому циклу, когда наряду с осаждением кремния на разогретых основах при восстановлении из трихлорсилана образуются полисиланхлориды.

Lignende værker