Установка для получения поликристаллического кремния
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | , , , , , |
| Περίληψη: | опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов. |
| Γλώσσα: | Ρωσικά |
| Έκδοση: |
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.09.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/334/677/document.pdf |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Βιβλίο |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646363 |
Παρόμοια τεκμήρια
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ получения поликристаллического кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ получения поликристаллического кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Реактор водородного восстановления кремния
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Έκδοση: (2009)
Έκδοση: (2009)
Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 3
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2010)
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2010)
Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
από: Андреев А. А. Артем Андреевич
Έκδοση: (2007)
από: Андреев А. А. Артем Андреевич
Έκδοση: (2007)
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; ФВЗЧК-2013
από: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Έκδοση: (2013)
από: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Έκδοση: (2013)
Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления; Становление и развитие научных исследований в высшей школе; Т. 1
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2009)
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2009)
Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния; Автоматизация и управление в промышленности, науке и образовании
Έκδοση: (2009)
Έκδοση: (2009)
Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния; Современные техника и технологии; Т. 2
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2010)
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2010)
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (Томск, 2010)
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (Томск, 2010)
Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.13.06
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (Томск, 2010)
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (Томск, 2010)
Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Έκδοση: (2009)
Έκδοση: (2009)
Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
από: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Έκδοση: ()
από: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Έκδοση: ()
Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2011)
από: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Έκδοση: (2011)
Способ получения диоксида кремния
από: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Έκδοση: ()
από: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Έκδοση: ()
Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 2 : Математика и механика. Физика
από: Цивинская Ю. С.
Έκδοση: (2012)
από: Цивинская Ю. С.
Έκδοση: (2012)
Способ получения особо чистого кремния
από: Андреев А. А. Артем Андреевич
Έκδοση: ()
από: Андреев А. А. Артем Андреевич
Έκδοση: ()
Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 314, № 2: Математика и механика. Физика
από: Лапатин Л. Г.
Έκδοση: (2009)
από: Лапатин Л. Г.
Έκδοση: (2009)
Установка для получения CO[2]-экстрактов
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
από: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Έκδοση: ()
από: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Έκδοση: ()
Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552: International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Έκδοση: (2014)
Έκδοση: (2014)
Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Έκδοση: (2020)
Έκδοση: (2020)
Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты: № 2020133873; заявлено: 15.10.2020; опубликовано: 17.05.2021
Έκδοση: ()
Έκδοση: ()
High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
από: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Έκδοση: (2012)
από: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Έκδοση: (2012)
Состав смеси для получения теплоизоляционного материала
από: Лотов В. А. Василий Агафонович
Έκδοση: ()
από: Лотов В. А. Василий Агафонович
Έκδοση: ()