Установка для получения поликристаллического кремния

Установка для получения поликристаллического кремния

Xehetasun bibliografikoak
Erakunde egilea:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Beste egile batzuk:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович
Gaia:	опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:
Gaiak:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Sarrera elektronikoa:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.09.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/334/677/document.pdf
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646363

Antzeko izenburuak

Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Argitaratua: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Argitaratua: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Argitaratua: ()

Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Argitaratua: ()

Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Argitaratua: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Argitaratua: ()

Способ получения поликристаллического кремния
Argitaratua: ()

Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Argitaratua: ()

Реактор водородного восстановления кремния
Argitaratua: ()

Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Argitaratua: ()

Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Argitaratua: ()

Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Argitaratua: ()

Компьютерная модель установки водородного восстановления как объекта управления
Argitaratua: (2009)

Технология получения поликристаллического кремния фторидным способом
nork: Андреев А. А. Артем Андреевич
Argitaratua: (2007)

Исследование применения высокочастотного тока в установке производства поликристаллического кремния
nork: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Argitaratua: (2010)

Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Argitaratua: ()

Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния
nork: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Argitaratua: (2013)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния
Argitaratua: (2009)

Математическая модель SIEMENS-реактора производства поликристаллического кремния как объект управления
nork: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Argitaratua: (2009)

Алгоритм управления Siemens-реактором призводства поликристаллического кремния
nork: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Argitaratua: (2010)

Анализ и обоснование возможности применения высокочастотного тока для нагрева стержней-основ установки производства поликристаллического кремния
Argitaratua: (2009)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
nork: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Argitaratua: (Томск, 2010)

Синтез адаптивной системы управления нестационарным объектом - Siemens-реактором получения поликристаллического кремния
nork: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Argitaratua: (2011)

Разработка системы автоматизированного управления установкой водородного восстановления кремня ФГУП "ГХК" автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.13.06
nork: Козин К. А. Кирилл Андреевич
Argitaratua: (Томск, 2010)

Управление процессами массопереноса при получении поликристаллического кремния методом Бриджмена
nork: Цивинская Ю. С.
Argitaratua: (2012)

Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
nork: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Argitaratua: ()

Исследование влияния неоднородности характеристик исходного материала кремния на параметры фотоэлектрических преобразователей
nork: Лапатин Л. Г.
Argitaratua: (2009)

Способ получения диоксида кремния
nork: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Argitaratua: ()

Способ получения особо чистого кремния
nork: Андреев А. А. Артем Андреевич
Argitaratua: ()

Transport charge of gallium arsenide films synthesized on polycrystalline silicon by ion ablation
Argitaratua: (2014)

Установка для получения CO[2]-экстрактов
Argitaratua: ()

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams
Argitaratua: (2020)

Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
nork: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Argitaratua: ()

Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты № 2020133873 заявлено: 15.10.2020 опубликовано: 17.05.2021
Argitaratua: ()

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon
nork: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Argitaratua: (2012)

Исследование режущих свойств объемного поликристаллического нитрида титана
nork: Ким А. Б. Алексей Богович
Argitaratua: (2014)

Характерные особенности деформирования поликристаллического дуралюмина D1
Argitaratua: (2009)

Установка для изготовления панелей ангидритовых отделочных № 2023119425 заявлено 24.07.2023 опубликовано 30.01.2024
Argitaratua: ()

Электролизер
Argitaratua: ()

Разработка системы автоматического управления резистивным нагревом кремниевых стержней переменным током
Argitaratua: (2012)