Установка для получения поликристаллического кремния

Bibliographic Details
Corporate Author:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Other Authors:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович
Summary:	опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.09.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/334/677/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646363

Internet