Установка для получения поликристаллического кремния

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Outros autores:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович
Summary:	опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Publicado:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Acceso en liña:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.09.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/334/677/document.pdf
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646363

Descripción
Summary:	опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов.

Títulos similares