Установка для получения поликристаллического кремния

Bibliografiske detaljer
Institution som forfatter:	Горно-химический комбинат (ГХК)
Andre forfattere:	Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Бараков Б. Н. Борис Николаевич, Муравицкий С. А. Степан Александрович, Никулин А. И. Анатолий Иванович, Прочанкин А. П. Александр Петрович, Ревенко Ю. А. Юрий Александрович
Summary:	опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов.
Sprog:	russisk
Udgivet:
Fag:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения поликристаллический кремний полупроводниковые материалы осаждение водородное восстановление хлорсиланы
Online adgang:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.09.27/DOC/RUNWC1/000/000/002/334/677/document.pdf
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646363

Beskrivelse
Summary:	опубл. 27.09.08 Изобретение относится к производству полупроводниковых материалов, в частности к получению исходного поликристаллического кремния осаждением на нагретые затравки в процессе водородного восстановления хлорсиланов.

Lignende værker