Способ получения трифторида азота

מידע ביבליוגרפי
מחבר תאגידי: Сибирский химический комбинат (СХК)
מחברים אחרים: Акишин В. С. Валерий Сергеевич, Андриец С. П. Сергей Петрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Евстафьев А. А. Алексей Алексеевич, Короткевич В. М. Владимир Михайлович, Лазарчук В. В. Валерий Владимирович, Ледовских А. К. Александр Константинович, Салтан Н. П. Николай Павлович, Скотнов В. С. Валерий Сергеевич
סיכום:опубл. 20.02.08
Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.
שפה:רוסית
יצא לאור:
נושאים:
גישה מקוונת:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf
פורמט: אלקטרוני ספר
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646355

פריטים דומים