Способ получения трифторида азота

Способ получения трифторида азота

Bibliographic Details
Corporate Author:	Сибирский химический комбинат (СХК)
Other Authors:	Акишин В. С. Валерий Сергеевич, Андриец С. П. Сергей Петрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Евстафьев А. А. Алексей Алексеевич, Короткевич В. М. Владимир Михайлович, Лазарчук В. В. Валерий Владимирович, Ледовских А. К. Александр Константинович, Салтан Н. П. Николай Павлович, Скотнов В. С. Валерий Сергеевич
Summary:	опубл. 20.02.08 Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения трифторид азота фтор фторолефины топливо ракетная техника электронная промышленность
Online Access:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646355

Internet

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf