Способ получения трифторида азота

Способ получения трифторида азота

書誌詳細
団体著者:	Сибирский химический комбинат (СХК)
その他の著者:	Акишин В. С. Валерий Сергеевич, Андриец С. П. Сергей Петрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Евстафьев А. А. Алексей Алексеевич, Короткевич В. М. Владимир Михайлович, Лазарчук В. В. Валерий Владимирович, Ледовских А. К. Александр Константинович, Салтан Н. П. Николай Павлович, Скотнов В. С. Валерий Сергеевич
要約:	опубл. 20.02.08 Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.
言語:	ロシア語
出版事項:
主題:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения трифторид азота фтор фторолефины топливо ракетная техника электронная промышленность
オンライン･アクセス:	http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf
フォーマット:	電子媒体図書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646355

インターネット

http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf