Способ получения трифторида азота

Podrobná bibliografie
Korporativní autor: Сибирский химический комбинат (СХК)
Další autoři: Акишин В. С. Валерий Сергеевич, Андриец С. П. Сергей Петрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Евстафьев А. А. Алексей Алексеевич, Короткевич В. М. Владимир Михайлович, Лазарчук В. В. Валерий Владимирович, Ледовских А. К. Александр Константинович, Салтан Н. П. Николай Павлович, Скотнов В. С. Валерий Сергеевич
Shrnutí:опубл. 20.02.08
Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.
Jazyk:ruština
Vydáno:
Témata:
On-line přístup:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf
Médium: Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646355