Способ получения трифторида азота
| Korporativní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , , , , , , , , |
| Shrnutí: | опубл. 20.02.08 Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем. |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646355 |