|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
646355 |
| 005 |
20231214154427.0 |
| 029 |
1 |
0 |
|a RU
|b 2317251
|c Пат.
|d МПК C 01 B 21/083
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\11491
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\11490
|
| 039 |
0 |
|
|a RU
|b 2006120021/15
|c 20060607
|
| 090 |
|
|
|a 646355
|
| 100 |
|
|
|a 20160226j20080220k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a k 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Способ получения трифторида азота
|f В. С. Акишин [и др.]
|g Сибирский химический комбинат (СХК)
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a опубл. 20.02.08
|
| 330 |
|
|
|a Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.
|
| 610 |
1 |
|
|a патенты
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a изобретения
|
| 610 |
1 |
|
|a трифторид азота
|
| 610 |
1 |
|
|a фтор
|
| 610 |
1 |
|
|a фторолефины
|
| 610 |
1 |
|
|a топливо
|
| 610 |
1 |
|
|a ракетная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная промышленность
|
| 701 |
|
1 |
|a Акишин
|b В. С.
|g Валерий Сергеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Андриец
|b С. П.
|g Сергей Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Гаврилов
|b П. М.
|c специалист в области атомной энергетики
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1960-
|g Петр Михайлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27697
|9 12771
|
| 701 |
|
1 |
|a Евстафьев
|b А. А.
|g Алексей Алексеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Короткевич
|b В. М.
|g Владимир Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Лазарчук
|b В. В.
|g Валерий Владимирович
|
| 701 |
|
1 |
|a Ледовских
|b А. К.
|g Александр Константинович
|
| 701 |
|
1 |
|a Салтан
|b Н. П.
|g Николай Павлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Скотнов
|b В. С.
|g Валерий Сергеевич
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Сибирский химический комбинат (СХК)
|c Федеральное государственное унитарное предприятие
|c (Северск)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\111
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160229
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
