Способ получения трифторида азота

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu: Сибирский химический комбинат (СХК)
Altres autors: Акишин В. С. Валерий Сергеевич, Андриец С. П. Сергей Петрович, Гаврилов П. М. Петр Михайлович, Евстафьев А. А. Алексей Алексеевич, Короткевич В. М. Владимир Михайлович, Лазарчук В. В. Валерий Владимирович, Ледовских А. К. Александр Константинович, Салтан Н. П. Николай Павлович, Скотнов В. С. Валерий Сергеевич
Sumari:опубл. 20.02.08
Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.
Publicat:
Matèries:
Accés en línia:http://www.fips.ru/Archive/PAT/2008FULL/2008.02.20/DOC/RUNWC1/000/000/002/317/251/document.pdf
Format: Electrònic Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646355
Descripció
Sumari:опубл. 20.02.08
Изобретение относится к процессам получения трифторида азота. Трифторид азота в нормальных условиях - бесцветный газ, используется как источник фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в электронной промышленности используется в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем.