Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 10.— 2013.— [С. 35-40] |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| 其他作者: | , , , , , , , |
| 總結: | Заглавие с экрана Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
2013
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://elibrary.ru/item.asp?id=20780572 |
| 格式: | 電子 Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646228 |
相似書籍
Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
由: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版: (2014)
由: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版: (2014)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2012)
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2012)
Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2016)
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2016)
Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
出版: (2013)
出版: (2013)
Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2010)
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2010)
Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
由: Мазурик Е. А.
出版: (2014)
由: Мазурик Е. А.
出版: (2014)
Исследование поверхностных свойств покрытий на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
由: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
出版: (2012)
由: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
出版: (2012)
Формирование биосовместимых кальций-фосфатных покрытий методом высокочастотного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2008)
由: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2008)
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
出版: (2016)
出版: (2016)
Формирование биосовместимых кальций-фосфатных покрытий методом высокочастотного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2008)
由: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
出版: (Томск, [Б. и.], 2008)
Формирование биосовместимых кальций-фосфатных покрытий методом высокочастотного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
出版: (Томск, 2008)
由: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
出版: (Томск, 2008)
Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2009)
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2009)
Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
出版: (2013)
出版: (2013)
Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Сунь Чжилэй
出版: (Томск, 2020)
由: Сунь Чжилэй
出版: (Томск, 2020)
Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Сунь Чжилэй
出版: (Томск, 2020)
由: Сунь Чжилэй
出版: (Томск, 2020)
Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления
出版: (2019)
出版: (2019)
Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав
由: Иванова Н. М.
出版: (2014)
由: Иванова Н. М.
出版: (2014)
Структурные характеристики оксидных и оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и оценка их гемосовместимых свойств in vitro
出版: (2016)
出版: (2016)
Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
出版: (2013)
出版: (2013)
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, 2016)
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, 2016)
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)
Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
出版: (2016)
出版: (2016)
Исследование физических свойств гемосовместимых покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана
由: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
出版: (2012)
由: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
出版: (2012)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
由: Зелецов Д.
出版: (2019)
由: Зелецов Д.
出版: (2019)
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2009)
Исследование биосовместимых покрытий на основе оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного напыления
由: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
出版: (2014)
由: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
出版: (2014)
Физико-механические характеристики гемосовместимых покрытий на основе TiO2 и Ti-O-N, полученных методом реактивного распыления
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2011)
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2011)
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
由: Шпакова Н. Ю.
出版: (2009)
由: Шпакова Н. Ю.
出版: (2009)
Применение метода магнетронного распыления для формирования NiО/YSZ анодного слоя твердооксидного топливного элемента
由: Цыбенко А. О. Алена Олеговна
出版: (2013)
由: Цыбенко А. О. Алена Олеговна
出版: (2013)
Исследование фотокаталитических свойств диоксида титана при разложении водного раствора метиленового синего (C16H18N3SCL)
出版: (2016)
出版: (2016)
Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
由: Гаранин Ю. А.
出版: (2022)
由: Гаранин Ю. А.
出版: (2022)
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)
Исследование состава и структуры покрытий на основе диоксида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
出版: (2017)
出版: (2017)
Влияние термической обработки на свойства кремнийсодержащих кальцийфосфатных покрытий, сформированных методом ВЧ-магнетронного распыления
由: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
出版: (2010)
由: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
出版: (2010)
RF-Magnetron Sputtering of Calcium Phosphates for Medical Implants: Structure and Properties
出版: (2019)
出版: (2019)
Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2010)
由: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
出版: (2010)
Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2015)
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2015)
Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.02
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (Томск, [Б. и.], 2020)
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (Томск, [Б. и.], 2020)
Влияние азота на коррозионную стойкость тонких пленок TI-O-N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2021)
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2021)