Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 56, № 10.— 2013.— [С. 35-40]
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) Центр технологий (ЦТ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Пустовалова А. А. Алла Александровна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Сурменев Р. А. Роман Анатольевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Эппле М. К. Маттиас Кристиан
Summary:Заглавие с экрана
Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=20780572
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646228