Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 10.— 2013.— [С. 35-40] |
|---|---|
| Nhiều tác giả của công ty: | , |
| Tác giả khác: | , , , , , , , |
| Tóm tắt: | Заглавие с экрана Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Nga |
| Được phát hành: |
2013
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | http://elibrary.ru/item.asp?id=20780572 |
| Định dạng: | Điện tử Chương của sách |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646228 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 646228 | ||
| 005 | 20250402125312.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11362 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\11360 | ||
| 090 | |a 646228 | ||
| 100 | |a 20160217d2013 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления |d Structure and Properties of Ti-O-N Coatings Produced by Reactive Magnetron Sputtering |f М. Е. Конищев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 40 (18 назв.)] | ||
| 330 | |a Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 56, № 10 |v [С. 35-40] |d 2013 | ||
| 510 | 1 | |a Structure and Properties of Ti-O-N Coatings Produced by Reactive Magnetron Sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a имплантология | |
| 610 | 1 | |a медицинское материаловедение | |
| 610 | 1 | |a оптическая спектроскопия | |
| 610 | 1 | |a оксинитриды титана | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a оксиды | |
| 610 | 1 | |a смачиваемость | |
| 610 | 1 | |a распыление магнетронное | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 1 | |a Кузьмин |b О. С. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1961- |g Олег Станиславович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33925 | |
| 701 | 1 | |a Пустовалова |b А. А. |c биофизик |c инженер Томского политехнического университета |f 1989- |g Алла Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31045 | |
| 701 | 1 | |a Морозова |b Н. С. |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета |g Наталья Сергеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689 | |
| 701 | 1 | |a Евдокимов |b К. Е. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1976- |g Кирилл Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31790 |9 15901 | |
| 701 | 1 | |a Сурменев |b Р. А. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, доцент, кандидат физико-математических наук |f 1982- |g Роман Анатольевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25831 |9 11704 | |
| 701 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 | |
| 701 | 1 | |a Эппле |b М. К. |g Маттиас Кристиан | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) |b Центр технологий (ЦТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\20620 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160324 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=20780572 |
| 942 | |c CF | ||