Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Dettagli Bibliografici
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 56, № 10.— 2013.— [С. 35-40]
Enti autori: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) Центр технологий (ЦТ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Altri autori: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Пустовалова А. А. Алла Александровна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Сурменев Р. А. Роман Анатольевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Эппле М. К. Маттиас Кристиан
Riassunto:Заглавие с экрана
Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Pubblicazione: 2013
Soggetti:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
имплантология
медицинское материаловедение
оптическая спектроскопия
оксинитриды титана
покрытия
оксиды
смачиваемость
распыление магнетронное
Accesso online:http://elibrary.ru/item.asp?id=20780572
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646228
Descrizione
Riassunto:Заглавие с экрана
Приведены результаты экспериментального исследования оптических характеристик газового разряда с целью оптимизации режимов функционирования магнетронной среднечастотной распылительной системы, для осаждения соединений Ti-O-N. Установлены условия поддерживания величины интенсивности выбранных спектральных линий, обеспечивающие синтез оксидных и оксинитридных покрытий титана. Методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, ИК-спектроскопии, измерения угла смачивания исследованы особенности морфологии, структуры, контактного угла и свободной поверхностной энергии оксидных и оксинитридных покрытий титана на подложках из нержавеющей стали 12Х18Н10Т. Приведены результаты исследований структуры и свойств синтезированных пленок, их физико-механические и оптические характеристики.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса

Documenti analoghi