Исследование способов управления структурой ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 56, № 12/3.— 2013.— [С. 21-26]
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) Центр технологий (ЦТ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors: Сурменева М. А. Мария Александровна, Сурменев Р. А. Роман Анатольевич, Шаронова А. А. Анна Александровна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Эппле М.
Summary:Заглавие с экрана
Поиск возможных способов управления структурным состоянием кремнийсодержащего кальцийфосфатного покрытия, исходя из параметров процесса получения методом ВЧ-магнетронного распыления: температура подложки и энергии ионов, бомбардирующих поверхность конденсации.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=21426888
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646222