Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 3 (3).— 2014.— [С. 276-280] |
|---|---|
| সংস্থা লেখক: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |
| অন্যান্য লেখক: | Юрьева А. В. Алена Викторовна, Степанова О. М. Ольга Михайловна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич |
| সংক্ষিপ্ত: | Заглавие с экрана Выполнен анализ структуры баланса энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью, работающей на постоянном токе. Рассмотрены потоки энергии, поступающие на мишень, и ее стоки в зависимости от плотности мощности, вкладываемой в разряд. Исследовано влияние размеров и теплофизич. свойств системы "мишень в тигле" на соотношение составляющих баланса энергии. Предложены пути повышения эффективности использования энергии, вкладываемой в разряд, на удаление атомов с поверхности мишени. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
2014
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21992427 |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায় |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646196 |
অনুরূপ উপাদানগুলি
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2015)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2015)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
অনুযায়ী: Рогожников Д. С.
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Рогожников Д. С.
প্রকাশিত: (2016)
Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2012)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2012)
Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
প্রকাশিত: (2018)
প্রকাশিত: (2018)
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
অনুযায়ী: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
প্রকাশিত: (2022)
অনুযায়ী: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
প্রকাশিত: (2022)
Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью; Современные научные исследования и инновации; № 4
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алёна Викторовна
প্রকাশিত: (2015)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алёна Викторовна
প্রকাশিত: (2015)
Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
প্রকাশিত: (2019)
প্রকাশিত: (2019)
Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2014)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2014)
Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
অনুযায়ী: Жукова М. А.
প্রকাশিত: (2007)
অনুযায়ী: Жукова М. А.
প্রকাশিত: (2007)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
অনুযায়ী: Шелепова М. А.
প্রকাশিত: (2009)
অনুযায়ী: Шелепова М. А.
প্রকাশিত: (2009)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, 2017)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
অনুযায়ী: Юрьева А. В. Алена Викторовна
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2017)
Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
অনুযায়ী: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
প্রকাশিত: (2011)
অনুযায়ী: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
প্রকাশিত: (2011)
Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
অনুযায়ী: Бумагина А. И. Анна Ивановна
প্রকাশিত: (2009)
অনুযায়ী: Бумагина А. И. Анна Ивановна
প্রকাশিত: (2009)
Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron; Resource-Efficient Technologies; No 3
প্রকাশিত: (2018)
প্রকাশিত: (2018)
Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
অনুযায়ী: Шаронова А. А. Анна Александровна
প্রকাশিত: (2013)
অনুযায়ী: Шаронова А. А. Анна Александровна
প্রকাশিত: (2013)
Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2011)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2011)
Оптимизация процессов распылительной сушки
অনুযায়ী: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
প্রকাশিত: (Киев, Наукова думка, 1984)
অনুযায়ী: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
প্রকাশিত: (Киев, Наукова думка, 1984)
Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2020)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2020)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, 2016)
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, 2016)
Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
প্রকাশিত: (2018)
প্রকাশিত: (2018)
Исследование процесса сушки молока на распылительной сушильной установк0е ЦАН-30; Экотехнологии и ресурсосбережение; № 2
অনুযায়ী: Евса Л. М.
প্রকাশিত: (2004)
অনুযায়ী: Евса Л. М.
প্রকাশিত: (2004)
Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation
প্রকাশিত: (2017)
প্রকাশিত: (2017)
Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
অনুযায়ী: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
প্রকাশিত: (2016)
Структурные особенности роста ВЧ-магнетронных тонких пленок на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
প্রকাশিত: (2013)
প্রকাশিত: (2013)
Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
অনুযায়ী: Арсланов И. Р.
প্রকাশিত: (2002)
অনুযায়ী: Арсланов И. Р.
প্রকাশিত: (2002)
Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
অনুযায়ী: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
প্রকাশিত: (2010)
অনুযায়ী: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
প্রকাশিত: (2010)
Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
অনুযায়ী: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
প্রকাশিত: (2008)
অনুযায়ী: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
প্রকাশিত: (2008)
Investigation of the Extinguishing Features for Liquid Fuels and Organic Flammable Liquids Atomized by a Water Flow; European Physical Journal Web of Conferences (EPJ Web of Conferences); Vol. 110 : Thermophysical Basis of Energy Technologies
অনুযায়ী: Voytkov I. S. Ivan
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Voytkov I. S. Ivan
প্রকাশিত: (2016)
Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
প্রকাশিত: (2008)
প্রকাশিত: (2008)
Исследование растворимости образцов пленок оксинитридов титана, используемых в сердечно-сосудистой хирургии; Химия и химическая технология в XXI веке
অনুযায়ী: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
প্রকাশিত: (2016)
অনুযায়ী: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
প্রকাশিত: (2016)
Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
অনুযায়ী: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
প্রকাশিত: (Томск, 2022)
অনুযায়ী: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
প্রকাশিত: (Томск, 2022)
Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
অনুযায়ী: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
প্রকাশিত: (Томск, 2022)
অনুযায়ী: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
প্রকাশিত: (Томск, 2022)
Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
অনুযায়ী: Ашихмин Д. А.
প্রকাশিত: (2024)
অনুযায়ী: Ашихмин Д. А.
প্রকাশিত: (2024)
Альбом рабочих чертежей и описание установки УР-3 для охлаждения и смазки зоны резания распыленными жидкостями при обработке металлов и материалов
প্রকাশিত: (Иваново, [Б. и.], 1964)
প্রকাশিত: (Иваново, [Б. и.], 1964)
Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, 2018)
অনুযায়ী: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
প্রকাশিত: (Томск, 2018)
Магнетронные распылительные системы
অনুযায়ী: Данилин Б. С. Борис Степанович
প্রকাশিত: (Москва, Радио и связь, 1982)
অনুযায়ী: Данилин Б. С. Борис Степанович
প্রকাশিত: (Москва, Радио и связь, 1982)
Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2016)
অনুযায়ী: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
প্রকাশিত: (Томск, [Б. и.], 2016)
অনুরূপ উপাদানগুলি
-
Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2015) -
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
অনুযায়ী: Рогожников Д. С.
প্রকাশিত: (2016) -
Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
অনুযায়ী: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
প্রকাশিত: (2012) -
Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
প্রকাশিত: (2018) -
Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
অনুযায়ী: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
প্রকাশিত: (2022)