Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 3 (3).— 2014.— [С. 276-280]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Other Authors:	Юрьева А. В. Алена Викторовна, Степанова О. М. Ольга Михайловна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана Выполнен анализ структуры баланса энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью, работающей на постоянном токе. Рассмотрены потоки энергии, поступающие на мишень, и ее стоки в зависимости от плотности мощности, вкладываемой в разряд. Исследовано влияние размеров и теплофизич. свойств системы "мишень в тигле" на соотношение составляющих баланса энергии. Предложены пути повышения эффективности использования энергии, вкладываемой в разряд, на удаление атомов с поверхности мишени. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2014
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ испарение распылительные системы магнетроны распыление
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21992427
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646196

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=21992427