Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 3 (3).— 2014.— [С. 276-280] |
|---|---|
| Autor corporatiu: | , |
| Altres autors: | , , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана Выполнен анализ структуры баланса энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью, работающей на постоянном токе. Рассмотрены потоки энергии, поступающие на мишень, и ее стоки в зависимости от плотности мощности, вкладываемой в разряд. Исследовано влияние размеров и теплофизич. свойств системы "мишень в тигле" на соотношение составляющих баланса энергии. Предложены пути повышения эффективности использования энергии, вкладываемой в разряд, на удаление атомов с поверхности мишени. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2014
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21992427 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646196 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 646196 | ||
| 005 | 20250904114736.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11330 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\11327 | ||
| 090 | |a 646196 | ||
| 100 | |a 20160215d2014 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью |f А. В. Юрьева [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 280 (13 назв.)] | ||
| 330 | |a Выполнен анализ структуры баланса энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью, работающей на постоянном токе. Рассмотрены потоки энергии, поступающие на мишень, и ее стоки в зависимости от плотности мощности, вкладываемой в разряд. Исследовано влияние размеров и теплофизич. свойств системы "мишень в тигле" на соотношение составляющих баланса энергии. Предложены пути повышения эффективности использования энергии, вкладываемой в разряд, на удаление атомов с поверхности мишени. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 57, № 3 (3) |v [С. 276-280] |d 2014 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a испарение | |
| 610 | 1 | |a распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a магнетроны | |
| 610 | 1 | |a распыление | |
| 701 | 1 | |a Юрьева |b А. В. |c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий |c ассистент Томского политехнического университета |f 1983- |g Алена Викторовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232 | |
| 701 | 1 | |a Степанова |b О. М. |c специалист в области атомной энергетики |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1982- |g Ольга Михайловна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31298 | |
| 701 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |9 13681 | |
| 701 | 1 | |a Юрьев |b Ю. Н. |c специалист в области водородной энергетики |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник |f 1984- |g Юрий Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543 |9 14839 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160215 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=21992427 |
| 942 | |c CF | ||