Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ), Юрьева А. В. Алена Викторовна, Степанова О. М. Ольга Михайловна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2014). Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью. 2014.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ), Юрьева А. В. Алена Викторовна, Степанова О. М. Ольга Михайловна, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью. 2014, 2014.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), et al. Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью. 2014, 2014.