Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11 (2).— 2012.— [С. 183-188]
Main Author:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Summary:	Заглавие с экрана С помощью численного моделирования выполнено сравнение интенсивности эрозии и энергоэффективности образования эрозионного материала при облучении поверхности металлов мощными ионными пучками субмикросекундной длительности (начальная энергия частиц 100-1000 кэВ, плотность мощности 10 {7}-10 {10} Вт/см {2}) и потоками ионов, экстрагируемых из области горения плазмы при работе магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Сопоставлены скорости роста покрытий. Показаны преимущества каждого из способов воздействия на вещество для технологий осаждения покрытий. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2012
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ импульсные ионные пучки распылительные системы магнетроны жидкофазные мишени распыление испарение эрозия
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=18639652
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646186