Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11 (2).— 2012.— [С. 183-188] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана С помощью численного моделирования выполнено сравнение интенсивности эрозии и энергоэффективности образования эрозионного материала при облучении поверхности металлов мощными ионными пучками субмикросекундной длительности (начальная энергия частиц 100-1000 кэВ, плотность мощности 10 {7}-10 {10} Вт/см {2}) и потоками ионов, экстрагируемых из области горения плазмы при работе магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Сопоставлены скорости роста покрытий. Показаны преимущества каждого из способов воздействия на вещество для технологий осаждения покрытий. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18639652 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646186 |