Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11 (2).— 2012.— [С. 183-188] |
|---|---|
| Автор: | |
| Співавтори: | , |
| Інші автори: | |
| Резюме: | Заглавие с экрана С помощью численного моделирования выполнено сравнение интенсивности эрозии и энергоэффективности образования эрозионного материала при облучении поверхности металлов мощными ионными пучками субмикросекундной длительности (начальная энергия частиц 100-1000 кэВ, плотность мощности 10 {7}-10 {10} Вт/см {2}) и потоками ионов, экстрагируемых из области горения плазмы при работе магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Сопоставлены скорости роста покрытий. Показаны преимущества каждого из способов воздействия на вещество для технологий осаждения покрытий. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2012
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18639652 |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646186 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 646186 | ||
| 005 | 20250402103654.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11320 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\8979 | ||
| 090 | |a 646186 | ||
| 100 | |a 20160215d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 188 (9 назв.)] | ||
| 330 | |a С помощью численного моделирования выполнено сравнение интенсивности эрозии и энергоэффективности образования эрозионного материала при облучении поверхности металлов мощными ионными пучками субмикросекундной длительности (начальная энергия частиц 100-1000 кэВ, плотность мощности 10 {7}-10 {10} Вт/см {2}) и потоками ионов, экстрагируемых из области горения плазмы при работе магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Сопоставлены скорости роста покрытий. Показаны преимущества каждого из способов воздействия на вещество для технологий осаждения покрытий. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 11 (2) |v [С. 183-188] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a импульсные ионные пучки | |
| 610 | 1 | |a распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a магнетроны | |
| 610 | 1 | |a жидкофазные мишени | |
| 610 | 1 | |a распыление | |
| 610 | 1 | |a испарение | |
| 610 | 1 | |a эрозия | |
| 700 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |9 13681 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160215 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=18639652 |
| 942 | |c CF | ||