Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем

Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 148-153]
Main Author: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Other Authors: Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Третьяков Р. С.
Summary:Заглавие с экрана
Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2011
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
магнетроны
распыление
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=17394879
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646185

Similar Items

Similar Items