Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)

Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 148-153]
Autor principal:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Altres autors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Третьяков Р. С.
Sumari:	Заглавие с экрана Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:	rus
Publicat:	2011
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетроны распыление
Accés en línia:	http://elibrary.ru/item.asp?id=17394879
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646185

Ítems similars

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (2014)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (2020)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicat: (2013)

Структурные особенности роста ВЧ-магнетронных тонких пленок на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Publicat: (2013)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (2012)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Жукова М. А.
Publicat: (2007)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
per: Арсланов И. Р.
Publicat: (2002)

Cleaning and sputtering using planar acoustoplasma magnetron; Resource-Efficient Technologies; No 3
Publicat: (2018)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (Томск, 2022)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Publicat: (2014)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition; Surface and Coatings Technology; Vol. 334
Publicat: (2018)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (Томск, 2022)

Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 789 : Low temperature Plasma in the Processes of Functional Coating Preparation
Publicat: (2017)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
per: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Publicat: (2016)

Влияние магнитной системы МРС на зону распыления мишени-катода; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
per: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Publicat: (2010)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей; Инновационные технологии и экономика в машиностроении
per: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Publicat: (2008)

Исследование растворимости образцов пленок оксинитридов титана, используемых в сердечно-сосудистой хирургии; Химия и химическая технология в XXI веке
per: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicat: (2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Publicat: (2019)

Влияние обработки поверхности титана ВТ 1-0 перед напылением магнетронных покрытий на топографию и физико-химические свойства; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Publicat: (2012)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Publicat: (2019)

Increasing Wear Resistance of Copper Friction Pair with Electrically-Conductive Tribological Cu-Mo-S Coatings; AIP Conference Proceedings; Vol. 1783 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2016
Publicat: (2016)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
per: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2022)

Analysis of work and increasing of efficiency of the ILUR-03 installation magnetron system for tubular specimens outer surface modification; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Publicat: (2016)

Использование сильноточных электронных ускорителей для генерации СВЧ-излучения в магнетронных системах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.04
per: Сулакшин А. С. Александр Степанович
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1979)

Плазменные теплоотражающие покрытия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2
Publicat: (2011)

Коаксиальный магнетрон дециметрового диапазона длин волн с выходной импульсной мощностью: пер. с англ.
Publicat: (Москва, Институт " Электроника ", 1968)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец.01.04.20
per: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1988)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Publicat: (2013)

The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
per: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Publicat: (2016)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: монография
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (Новосибирск, Наука, 2014)

Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
per: Золкин А. С.
Publicat: (2017)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Шелепова М. А.
Publicat: (2009)

Исследования релятивистских магнетронных систем в микросекундном диапазоне длительностей импульса напряжения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-технических наук; спец. 01.04.20
per: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1988)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
per: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicat: (2015)

Исследование способов управления структурой ВЧ-магнетронных кальцийфосфатных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 12/3
Publicat: (2013)

Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
Publicat: (2019)

In vitro исследование магнетронных покрытий на основе кремнийзамещенного гидроксиапатита; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 12
Publicat: (2011)

Релятивистские магнетроны
per: Винтизенко И. И. Игорь Игоревич
Publicat: (Москва, Физматлит, 2013)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicat: (2009)

Релятивистский магнетрон
per: Юшков Ю. Г. Юрий Георгиевич
Publicat: ()