Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 148-153] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , |
| Sumari: | Заглавие с экрана Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2011
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://elibrary.ru/item.asp?id=17394879 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646185 |