Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 148-153] |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 其他作者: | , |
| 總結: | Заглавие с экрана Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
2011
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://elibrary.ru/item.asp?id=17394879 |
| 格式: | 電子 Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646185 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 646185 | ||
| 005 | 20250402103601.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11319 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\11318 | ||
| 090 | |a 646185 | ||
| 100 | |a 20160215d2011 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, Р. С. Третьяков | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 153 (15 назв.)] | ||
| 330 | |a Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 54, № 11 (2) |v [С. 148-153] |d 2011 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетроны | |
| 610 | 1 | |a распыление | |
| 700 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |9 13681 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Третьяков |b Р. С. | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160215 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=17394879 |
| 942 | |c CF | ||