Модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11 (2)
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 54, № 11 (2).— 2011.— [С. 148-153] |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | |
| অন্যান্য লেখক: | , |
| সংক্ষিপ্ত: | Заглавие с экрана Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
2011
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://elibrary.ru/item.asp?id=17394879 |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায় |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646185 |
| সংক্ষিপ্ত: | Заглавие с экрана Разработана модель эрозии поверхности жидкофазных мишеней магнетронных распылительных систем, в основе которой лежит представление о том, что поток атомов с поверхности мишени складывается из двух независимых компонентов, создаваемых столкновительным распылением и испарением. С ее помощью получены данные о скорости удаления вещества с поверхности в зависимости от плотности мощности магнетронного разряда и свойств мишеней. Определены условия, при которых испарительный компонент эмиссионного потока становится преобладающим над распылительным. Предложена методика расчета скорости роста осаждаемых покрытий, основанная на разработанной модели эрозии поверхности. Доказана работоспособность этой модели и показана возможность прогнозирования производительности процесса осаждения покрытий при использовании магнетронных распылительных систем с жидкофазными мишенями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|