Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления

Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления

Библиографические подробности
Источник:	Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций: тезисы докладов Международной конференции, 21-25 сентября 2015 г., Томск/ Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ). [С. 478-479].— , 2015
Автор-организация:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Другие авторы:	Перевалова О. Б., Панин А. В. Алексей Викторович, Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Примечания:	Заглавие с экрана
Опубликовано:	2015
Серии:	Тонкие пленки и многослойные покрытия как иерархически организованные структуры
Предметы:	электронный ресурс труды учёных ТПУ предварительная обработка ионные пучки титан внутреннее напряжение микроструктуры покрытия магнетронное распыление
Online-ссылка:	http://www.ispms.ru/files/Conference/2015/tezis_2015.pdf#page=478
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646114

Схожие документы

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
по: Гаранин Ю. А.
Опубликовано: (2022)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Опубликовано: (2016)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2012)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления
по: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Опубликовано: (2010)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2009)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
по: Зелецов Д.
Опубликовано: (2019)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
по: Грибенников М. В.
Опубликовано: (2013)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
по: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Опубликовано: (2014)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
по: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Опубликовано: (2016)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Опубликовано: (2019)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2015)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2016)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
по: Просолов К. А. Константин Александрович
Опубликовано: (2017)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2010)

Кремнийсодержащее кальций-фосфатное покрытие, сформированное методом ВЧ-магнетронного распыления
по: Сурменева М. А. Мария Александровна
Опубликовано: (2010)

Исследование биоэлектрической совместимости тонких кальций-фосфатных покрытий, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Опубликовано: (2011)

Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
Опубликовано: (2014)

Элементный и фазовый состав кальцийфосфатных мишеней для ВЧ-магнетронного распыления
Опубликовано: (2019)

Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий с антибактериальными свойствами, полученных методом вч-магнетронного распыления
по: Сыромотина Д. С. Дина Сергеевна
Опубликовано: (2013)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Опубликовано: (2016)

Покрытия, сформированные методом ВЧ-магнетронного распыления мишени из кремнийзамещенного гидроксиапатита
по: Сурменева М. А. Мария Александровна
Опубликовано: (2009)

The Tribological Properties and the Microstructure of Cu-Mo-S Coatings
Опубликовано: (2015)

Модифицирование биорезорбируемых полимерных кровеносных сосудов TISIN покрытиями методом дуального магнетронного распыления
по: Лаушкина А. А. Алина Алексеевна
Опубликовано: (2023)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства
Опубликовано: (2006)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Опубликовано: (2013)

Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
по: Сыромотина Д. С.
Опубликовано: (2013)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Опубликовано: (2008)

Формирование тонкопленочных слоев твердооксидных топливных элементов методом магнетронного распыления диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 1.3.8
по: Соловьев А. А. Андрей Александрович
Опубликовано: (Томск, 2025)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
Опубликовано: (2013)

Формирование тонкопленочных слоев твердооксидных топливных элементов методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 1.3.8
по: Соловьев А. А. Андрей Александрович
Опубликовано: (Томск, 2025)

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра
по: Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович
Опубликовано: (2014)

Структурные характеристики оксидных и оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и оценка их гемосовместимых свойств in vitro
Опубликовано: (2016)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
по: Шпакова Н. Ю.
Опубликовано: (2009)

Исследование эффективности Pt/C каталитических слоев, осажденных методом магнетронного распыления
по: Олейников Д. Ю.
Опубликовано: (2024)

Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления
по: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубликовано: (2014)

The Effect of Cu–Mo–S Coatings on Wear Resistance of Copper Friction Pair
Опубликовано: (2016)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления
по: Загузин И. Ю.
Опубликовано: (2018)

Формирование градиентного слоя хром-цирконий с помощью магнетронного распыления
по: Ромбаева М. Р.
Опубликовано: (2019)