Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления

Бібліографічні деталі
Parent link:	Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций.— 2015.— [С. 478-479]
Співавтор:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Інші автори:	Перевалова О. Б., Панин А. В. Алексей Викторович, Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Резюме:	Заглавие с экрана
Мова:	Російська
Опубліковано:	2015
Серія:	Тонкие пленки и многослойные покрытия как иерархически организованные структуры
Предмети:	электронный ресурс труды учёных ТПУ предварительная обработка ионные пучки титан внутреннее напряжение микроструктуры покрытия магнетронное распыление
Онлайн доступ:	http://www.ispms.ru/files/Conference/2015/tezis_2015.pdf#page=478
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646114

Інтернет