Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций.— 2015.— [С. 478-479]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Перевалова О. Б., Панин А. В. Алексей Викторович, Калашников М. П. Марк Петрович, Сергеев В. П. Виктор Петрович
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2015
Series:	Тонкие пленки и многослойные покрытия как иерархически организованные структуры
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ предварительная обработка ионные пучки титан внутреннее напряжение микроструктуры покрытия магнетронное распыление
Online Access:	http://www.ispms.ru/files/Conference/2015/tezis_2015.pdf#page=478
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646114

Internet