Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления
| Parent link: | Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций: тезисы докладов Международной конференции, 21-25 сентября 2015 г., Томск/ Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ). [С. 478-479].— , 2015 |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана |
| Published: |
2015
|
| Series: | Тонкие пленки и многослойные покрытия как иерархически организованные структуры |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.ispms.ru/files/Conference/2015/tezis_2015.pdf#page=478 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646114 |