Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления
| Parent link: | Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций.— 2015.— [С. 478-479] |
|---|---|
| Співавтор: | |
| Інші автори: | , , , |
| Резюме: | Заглавие с экрана |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2015
|
| Серія: | Тонкие пленки и многослойные покрытия как иерархически организованные структуры |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://www.ispms.ru/files/Conference/2015/tezis_2015.pdf#page=478 |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646114 |