Исследование структурно-фазового состояния и оптических свойств покрытий Al-Si-N

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций: тезисы докладов Международной конференции, 21-25 сентября 2015 г., Томск/ Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ). [С. 442-443].— , 2015
Main Author:	Божко И. А. Ирина Александровна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Рыбалко Е. В., Сергеев В. П. Виктор Петрович
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2015
Series:	Тонкие пленки и многослойные покрытия как иерархически организованные структуры
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ структурно-фазовые состояния оптические свойства покрытия магнетронные напыления
Online Access:	http://www.ispms.ru/files/Conference/2015/tezis_2015.pdf#page=442
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=646100

Internet