Ионная имплантация пер. с нем.

Ионная имплантация, пер. с нем.

Bibliographic Details
Main Author: Риссел Х.
Other Authors: Руге И.
Published: Москва, Наука, 1983
Subjects:
полупроводники
ионная имплантация
твердые тела
оборудование
имплантационные слои
исследования
ионно-легированные слои
свойства
полупроводниковые приборы
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=64601

Similar Items