Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации

書誌詳細
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 226-230]
第一著者: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
団体著者: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
要約:Заглавие с экрана
Представлена изотермическая модель начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла. Исследована взаимозависимость концентрации внедряемой примеси и упругих напряжений, возникающих вследствие удара частиц о поверхность подложки. Учитывается генерация вакансий в обрабатываемом материале.
The model is presented to describe the initial stage of ion implantation into the surface layer of metal. The interdependence of implemented impurity concentration and elastic stresses arising from the impact of particles on the surface is investigated. Take into account the generation of vacancies.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
言語:ロシア語
出版事項: 2015
主題:
オンライン・アクセス:http://elibrary.ru/item.asp?id=24449599
フォーマット: 電子媒体 図書の章
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645960

類似資料