Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 226-230] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлена изотермическая модель начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла. Исследована взаимозависимость концентрации внедряемой примеси и упругих напряжений, возникающих вследствие удара частиц о поверхность подложки. Учитывается генерация вакансий в обрабатываемом материале. The model is presented to describe the initial stage of ion implantation into the surface layer of metal. The interdependence of implemented impurity concentration and elastic stresses arising from the impact of particles on the surface is investigated. Take into account the generation of vacancies. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=24449599 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645960 |