Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2

Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2

Bibliografische gegevens
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 226-230]
Hoofdauteur:	Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Coauteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Samenvatting:	Заглавие с экрана Представлена изотермическая модель начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла. Исследована взаимозависимость концентрации внедряемой примеси и упругих напряжений, возникающих вследствие удара частиц о поверхность подложки. Учитывается генерация вакансий в обрабатываемом материале. The model is presented to describe the initial stage of ion implantation into the surface layer of metal. The interdependence of implemented impurity concentration and elastic stresses arising from the impact of particles on the surface is investigated. Take into account the generation of vacancies. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	2015
Onderwerpen:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионная имплантация диффузия концентрация примеси упругие волны связанные модели
Online toegang:	http://elibrary.ru/item.asp?id=24449599
Formaat:	Elektronisch Hoofdstuk
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645960

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=24449599